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空压机在电子特气生产中的应用

来源:      2023-11-21 9:44:48      点击:




电子特气是电子特种气体的简称,Electronic Specialty Gases(ESG),属于特种气体的其中一类,特种气体与大宗气体并列,均属于工业气体。相比于传统工业气体,电子特气纯度更高,用途也更特殊,如半导体、平板显示及其它电子产品的生产过程中,电子特气都是不可或缺的关键性原材料,因此也有电子工业的“粮食”之称。


电子特气的品质由纯度和净度两个维度的标准来衡量。



纯度每提升一个N,金属杂质含量浓度每降低一个数量级,对生产工艺的考验都极其复杂,难度很大。


如果电子特气的纯度或是净度不达标,轻则使得下游产品质量不过关,重则扩散污染整条产品线,造成产品全部报废。