电子特气生产过程中的主要用气点
电子特气是电子特种气体的简称,Electronic Specialty Gases(ESG),属于特种气体的其中一类,特种气体与大宗气体并列,均属于工业气体。相比于传统工业气体,电子特气纯度更高,用途也更特殊,如半导体、平板显示及其它电子产品的生产过程中,电子特气都是不可或缺的关键性原材料,因此也有电子工业的“粮食”之称。
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